国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“用于晶圆表面缺陷检测的成像装置”的专利，公开号CN121275629A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于晶圆表面缺陷检测的成像装置，其包括显微物镜和相机，显微物镜和相机的感光面均倾斜设置以致显微物镜的物面和感光面共轭；显微物镜包括沿光轴依次排列设置的第一物镜组、光阑、第二物镜组，第一物镜组和第二物镜组关于光阑对称分布，光阑设置于第二物镜组的焦平面处。本发明通过显微物镜的物面和相机的感光面共轭，使得显微物镜倾斜设置时的离焦量得到补偿，并结合前后两组透镜对称分布的方式消除低阶对称相差以保证成像质量，且光阑处于第二物镜组的焦平面，保证显微物镜具有较好的远心度。
天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目271次，财产线索方面有商标信息249条，专利信息1073条，此外企业还拥有行政许可40个。
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